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圖說半導(dǎo)體行業(yè)中的真空泵機組合
在半導(dǎo)體行業(yè)中都是采用羅茨真空泵與干泵組成的真空機組，一方面可以減少干泵的尺寸，另一方面可以在中真空范圍內(nèi)獲得較大的抽速。由于羅茨真空泵的軸承和同步齒輪都需要潤滑，這潤滑油會對真空工藝造成污染。解決的辦法是在齒輪箱的端蓋上外接一段真空管路，并用另一臺輔助真空泵將齒輪箱內(nèi)的壓力抽到低于羅茨泵的入口壓力，見圖1所示。
這樣，在這個壓力梯度下，齒輪箱內(nèi)油蒸汽就不會通過迷宮式軸封而進入泵腔造成污染。另外當(dāng)羅茨真空泵抽除有害氣體時，要求電機傳動軸的密封絕對不能泄漏，因而出現(xiàn)了屏蔽電機羅茨泵，確實做到了零泄漏。
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